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4軸真空直驅(qū)雙臂B型晶圓搬運(yùn)機(jī)器人

型號： AHY系列

●高可靠真空隔離，從容應(yīng)對高真空環(huán)境

●電機(jī)直接驅(qū)動機(jī)器人運(yùn)動，提升運(yùn)行可靠性

●高強(qiáng)度高剛性鋼帶傳動，實(shí)現(xiàn)手臂高傳動精度

●采用閉環(huán)伺服控制，實(shí)現(xiàn)高精度位置控制

●同時(shí)實(shí)現(xiàn)雙工位交換晶圓動作（Swap）

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技術(shù)參數(shù)
安裝尺寸
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●高可靠真空隔離，從容應(yīng)對高真空環(huán)境

●電機(jī)直接驅(qū)動機(jī)器人運(yùn)動，提升運(yùn)行可靠性

●高強(qiáng)度高剛性鋼帶傳動，實(shí)現(xiàn)手臂高傳動精度

●采用閉環(huán)伺服控制，實(shí)現(xiàn)高精度位置控制

●同時(shí)實(shí)現(xiàn)雙工位交換晶圓動作（Swap）

4軸真空直驅(qū)雙臂B型晶圓搬運(yùn)機(jī)器人

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2024 - 09 - 03

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