產(chǎn)品中心
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4軸真空直驅雙臂Q型晶圓搬運機器人
型號：
AHY系列
高可靠真空隔離，從容應對高真空環(huán)境
電機直接驅動機器人運動，提升運行可靠性
高強度高剛性鋼帶傳動，實現(xiàn)手臂高傳動精度
采用閉環(huán)伺服控制，實現(xiàn)高精度位置控制
同時實現(xiàn)雙工位交換晶圓動作（Swap）
高可靠真空隔離，從容應對高真空環(huán)境
電機直接驅動機器人運動，提升運行可靠性
高強度高剛性鋼帶傳動，實現(xiàn)手臂高傳動精度
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同時實現(xiàn)雙工位交換晶圓動作（Swap）
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AHY系列
●高可靠真空隔離，從容應對高真空環(huán)境●電機直接驅動機器人運動，提升運行可靠性●高強度高剛性鋼帶傳動，實現(xiàn)手臂高傳動精度●采用閉環(huán)伺服控制，實現(xiàn)高精度位置控制●同時實現(xiàn)雙工位交換晶圓動作（Swap）
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高可靠真空隔離，從容應對高真空環(huán)境電機直接驅動機器人運動，提升運行可靠性高強度高剛性鋼帶傳動，實現(xiàn)手臂高傳動精度采用閉環(huán)伺服控制，實現(xiàn)高精度位置控制同時實現(xiàn)雙工位交換晶圓動作（Swap）
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高可靠真空隔離，從容應對高真空環(huán)境電機直接驅動機器人運動，提升運行可靠性高強度高剛性鋼帶傳動，實現(xiàn)手臂高傳動精度采用閉環(huán)伺服控制，實現(xiàn)高精度位置控制